د پولیسیلیکون چمتو کولو طریقه.

1. بار کول

د تودوخې د تبادلې په میز کې لیپت شوي کوارټز کروسیبل ځای په ځای کړئ، د سیلیکون خام مواد اضافه کړئ، بیا د تودوخې تجهیزات، د موصلیت تجهیزات او د فرنس پوښ نصب کړئ، فرنس خالي کړئ ترڅو په فرنس کې فشار 0.05-0.1mbar ته کم کړي او خلا وساتي. ارګون د محافظتي ګاز په توګه معرفي کړئ ترڅو په فرنس کې فشار اساسا د 400-600mbar شاوخوا وساتي.

2. ګرمول

د فرنس د بدن د تودوخې لپاره د ګرافیت هیټر څخه کار واخلئ، لومړی د ګرافیت برخو، موصلیت پرت، سیلیکون خام مواد او نور په سطحه جذب شوي رطوبت تبخیر کړئ، او بیا ورو ورو تودوخه کړئ ترڅو د کوارټز کروسیبل تودوخه شاوخوا 1200-1300 ته ورسیږي.℃. دا پروسه 4-5 ساعته وخت نیسي.

3. خټکی

ارګون د محافظتي ګاز په توګه معرفي کړئ ترڅو په فرنس کې فشار اساسا د 400-600mbar شاوخوا وساتي. په تدریجي ډول د تودوخې ځواک لوړ کړئ ترڅو په کریبل کې د تودوخې شاوخوا 1500 ته تطبیق شي℃، او د سیلیکون خام مواد په منحل کیدو پیل کوي. شاوخوا 1500 وساتئ℃د خړوبولو پروسې په جریان کې تر هغه چې خټکی بشپړ شوی نه وي. دا پروسه شاوخوا 20-22 ساعته وخت نیسي.

4. کرسټال وده

وروسته له دې چې د سیلیکون خام مواد خړوب شي، د تودوخې ځواک کم شوی ترڅو د کریسبل تودوخه شاوخوا 1420-1440 ته راټیټ کړي.℃، کوم چې د سیلیکون د خټکي نقطه ده. بیا د کوارټز کروسیبل په تدریجي ډول ښکته ځي، یا د موصلیت وسیله په تدریجي ډول لوړیږي، نو د کوارټز کروسیبل ورو ورو د تودوخې زون پریږدي او د چاپیریال سره د تودوخې تبادله رامینځته کوي؛ په ورته وخت کې، اوبه د یخولو پلیټ څخه تیریږي ترڅو د خټکي تودوخې له لاندې څخه راټیټ کړي، او کرسټالین سیلیکون لومړی په ښکته کې جوړیږي. د ودې پروسې په جریان کې، د جامد - مایع انٹرفیس تل د افقی الوتکې سره موازي پاتې کیږي تر هغه چې کرسټال وده بشپړه شي. دا پروسه شاوخوا 20-22 ساعته وخت نیسي.

5. annealing

وروسته له دې چې د کرسټال وده بشپړه شي، د کرسټال د ښکته او پورتنۍ برخې تر منځ د تودوخې لوی درجې له امله، د تودوخې فشار ممکن په انګوټ کې شتون ولري، چې د سیلیکون ویفر ګرمولو او د بیټرۍ چمتو کولو په وخت کې بیا ماتول اسانه دي. . له همدې امله، د کرسټال وده بشپړیدو وروسته، د سیلیکون انګوټ د 2-4 ساعتونو لپاره د خټکي نقطې ته نږدې ساتل کیږي ترڅو د سیلیکون انګټ تودوخه یو شان شي او حرارتي فشار کم کړي.

6. یخ کول

وروسته له دې چې د سیلیکون انګوټ په فرنس کې انیل شي، د تودوخې بریښنا بنده کړئ، د تودوخې د موصلیت وسیله پورته کړئ یا د سیلیکون انګوټ په بشپړه توګه ښکته کړئ، او په فرنس کې د آرګون ګاز لوی جریان معرفي کړئ ترڅو په تدریجي توګه د سیلیکون انګوټ تودوخه نږدې ته راټیټ کړي. د خونې د حرارت درجه؛ په ورته وخت کې، په فرنس کې د ګاز فشار په تدریجي ډول لوړیږي تر هغه چې دا د اتموسفیر فشار ته ورسیږي. دا پروسه شاوخوا 10 ساعته وخت نیسي.